电容式加速度传感器的构造

　　电容式加速度传感器的基本构造原理如下图所示。在延性梁的中间固定有质量块，质量块的上内孔为主题活动电极，与上固定电极形成电力电容器C1；质量块的下部内孔也是主体可移动电极，其与下部固定电极形成另一个电力电容器C2。当被测物体的振动引起固定在它们之间的传感器基座的振动时，质量会由于惯性力而保持静止，因此上下固定电极与质量之间可能发生相对位移。这导致电容器C1和C2的值增加，另一个值减少，从而产生与加速度大小成比例的差动保护输出数据信号。

　　随着微机电系统技术的发展趋势，目前电容式加速度传感器广泛采用微机电系统技术制造。构建了微机电系统可变电容加速度传感器，其中所有的光敏电阻都由三个单晶硅片粘接在一起组成。上下硅单晶构成两个固定电极，中间的硅单晶根据有机化学离子注入产生由软薄膜支撑的具有刚度管理中心的质量块的外观，薄膜的厚度位于加速度传感器的测量范围内。此外，薄膜上还有注入离子的小孔。当薄膜随质量运动时，气体流过小孔，产生所需的阻尼系数。因为选择了微机电系统技术来获得这种集成结构，所以它的可信度很高。

　　电容式加速度传感器具有良好的低频特性和DC响应。与其他种类的加速度传感器相比，它具有灵敏度高、对自然环境适应性好，特别是受温度的危害较小；缺点是数据信号的输入输出与离散系统相关联，测量范围有限，电缆的电容危害很大；其实用性不如压阻式加速度计，成本也远高于压阻式加速度计。