电容式加速度传感器的小知识

　　电容式加速度传感器又称变电容式加速度传感器，它的构造原理：一个质量块固定在弹性梁的中间，质量块的上端面是一个活动电极，它与上固定电极组成一个电容器C1；质量块的下端面也是一个活动电极，它与下固定电极组成另一个电容器C2。

　　当被测物的振动招致与其固连的传感器基座振动时，质量块将由于惯性而坚持静止，因而上、下固定电极与质量块之间将会产生相对位移。这使得电容C1、C2的值一个变大、另一个变小，从而构成一个与加速度大小成正比的差动输出信号。

　　随着微机电技术的开展，往常的电容式加速度传感器都普遍采用的MEMS技术制造。下图显现了一种MEMS变电容式加速度传感器的构造，它的整个敏感元件由粘在一同的三个单晶硅片构成。其中上、下硅片构成两个固定电极，中间的硅片经过化学刻蚀构成由柔性薄膜支撑的具有刚性中心质量块的外形，薄膜的厚度取决于该加速度传感器的量程。另外，在薄膜上还有刻蚀出的小孔，当薄膜随质量块运动时，空气流经小孔从而产生所需的阻尼力。由于采用MEMS技术得到了这种一体化的构造，它的牢靠性是相当高的。

　　电容式加速度传感用具有较好的低频特性且具有直流响应，与其它类型的加速度传感器相比其灵活度高、环境顺应性好，特别是受温度的影响比拟小；缺乏之处为信号的输入与输出呈非线性关系、量程有限、受电缆的电容影响较大；其通用性不如压电式加速度传感器，且本钱也比压电式加速度传感器高得多。